イオンビームとは? - 日本語辞典 Mazii

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イオンビーム

〖ion beam〗

原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを，電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。イオン源（銃）・加速部電磁レンズ・偏向部などから構成される装置でつくられる。加速器，半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工，表面および内部の分析などに用いられる。

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Các từ liên quan tới イオンビーム

集束イオンビーム

集束イオンビームによる蒸着には、直接蒸着法と集束イオンビームアシスト蒸着法の２つがある。直接蒸着法はCu,Al,Auなどの金属を低エネルギーのイオンビームにして、試料に蒸着させる蒸着法である。半導体素子の金属配線などに応用されている。一方、集束イオンビームアシスト蒸着法

マスクレスリソグラフィ

2013年、Swinburne工科大学は異なる波長の2本の光学ビームを組み合わせて使用することにより9 nmのサイズに52 nm間隔に到達したと発表した。集束イオンビームシステムはイオン注入用や他の形式では対応できない用途において現在一般的に使用される。 IBMは原子間力顕微鏡の技術を元にした代替マスクレスリソグラフィーを開発した。参照

イオン源

イオン源は、特にイオン注入または集束イオンビーム機器で使用される。核分裂フラグメントイオン化とも呼ばれるプラズマ脱離イオン化質量分析（PDMS）は、核分裂の結果として形成されるイオンまたは中性原子（通常、カリホルニウムの同位体252Cf）を固体試料に衝突させることにより、固体試料中の物質のイオン化を達成する質量分析技術である。