スパッタとは? - 日本語辞典 Mazii

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スパッタ

スパッタスパッタ（sputter） - 金属表面に高エネルギー粒子を当てると金属表面から原子が飛び出すこと。スパッタリングを参照。真空中にアルゴン（Ar）などのガスを低圧力で導入してグロー放電させ、プラズマを発生させて、このプラズマのターゲットへの衝突で原子を蒸発させガラス基板などに成膜する技術。

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Các từ liên quan tới スパッタ

反応性スパッタ法

反応性スパッタ法（はんのうせいスパッタほう）は、スパッタリングの手法の一つ。スパッタにより薄膜を作製する際に、酸素や窒素などのガスをチャンバー内に流すことで、ターゲット構成物質に含まれる成分とガスとの生成物質を薄膜として堆積させる。ターゲットにSiを含む材料をターゲットとして、酸素を含むガスを導

材料分析法の一覧

immersion mirror） SIMS - 二次イオン質量分析法（Secondary ion mass spectrometry） SNMS - スパッタ中性粒子質量分析（Sputtered neutral species mass spectrometry） SNOM - 走査型近接場光顕微鏡（Scanning

中川茂樹

中川茂樹（なかがわしげき）は、日本の工学者。東京工業大学大学院工学研究科教授。研究室では、スパッタ法を用いた磁性薄膜工学および磁気記録技術に関する研究を行っている。 1983年　金沢大学工学部電気工学科卒業。 1985年　金沢大学大学院工学研究科修了。東京工業大学工学部助手。 1993年　工学博士（東京工業大学）。