高アスペクト比構造の微細加工技術とは?

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微細加工技術

パターンを形成する。走査にはラスタースキャンとベクタースキャンがある。主にフォトリソグラフィのマスクパターンの製造に用いられる。微細加工によってパターンが刻まれたマスクをウエハーに重ねて転写する事で従来のフォトリソグラフィでの露光プロセスを代替する。パターンが刻まれたマスク

微細構造

微細構造（びさいこうぞう　英 Ultrastructure）は、生物学の分野では生物体に見られるさまざまな構造のうちで、光学顕微鏡では判別できないくらい細かな構造のことを指す。英原語を直訳すると超構造になり、用語の対訳としては超微細構造という語があるが、現実的にはこの語が使われることが増えている。

超微細構造

E_{hfs}\approx \hbar } であり、超微細構造は微細構造よりも更に微細である。より詳細な議論のためには、核四重極モーメントについても考慮する必要がある。これは hyperfine structure anomaly と呼ばれる。超微細構造は1881年に既にアルバート・マイケルソンにより

アスペクト比

33:1）。パーソナルコンピュータの画面解像度の比率で、640×480・1024×768がこの条件を満たす例である。ハイビジョン（HDTV）画面は16:9（1.78:1）。主にフルハイビジョンテレビもしくはフルハイデフィニションテレビの画面解像度での1920×1080が16:9の条件を満たす。映画スクリーンは、1.33（あるいは1

エッチング (微細加工)

の間の条件（10−3～10−1 Torr）で動作する。深掘りRIE(DRIE)は、RIE技術を改良し深く狭い形を作る。 5軸レーザーエッチングレーザー加工とはレーザー光の直進性・高エネルギー密度・集束性を利用し、各種材料を融解・気化して切断、穴あけ、溶接などを行う加工方法であり、微細加工の

微細構造定数

微細構造定数（びさいこうぞうていすう、英: fine-structure constant）は、電磁相互作用の強さを表す物理定数であり、結合定数と呼ばれる定数の一つである。電磁相互作用は4つある素粒子の基本相互作用のうちの1つであり、量子電磁力学をはじめとする素粒子物理学において重要な定数である。1

細菌の細胞構造

生物部分と考えられている。最も一般的な封入物は、グリコーゲン、脂質の小滴や結晶、色素である。ボルチン顆粒は、無機化合物のポリリン酸塩の複合体を含む。これらの顆粒は異染効果を示すことから、メタクロマチック顆粒と呼ばれる。青色染料のメチレンブルーやトルイジンブルーで染色すると、赤色または青色になる。

アスペクト比 (航空工学)

航空工学におけるアスペクト比（アスペクトひ　Aspect ratio）は、主翼の縦横比を示す値。翼幅の2乗を翼面積で割った値であり、矩形翼では翼幅を翼弦長を割った値に等しい。アスペクト比ARは、以下の式で定義される。 AR ≡ b 2 S {\displaystyle {\text{AR}}\equiv