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このような微細な機械構造が注目を集めるきっかけとなったのは1987年のTransducers'87で発表されたマイクロギアやタービンである。その後、マイクロモータ、櫛歯型アクチュエータなどの発明により脚光を浴びる。初期の段階では動くだけで良かったが最近では応用を見据えたデバイスが主流である。
特に、慣性航法・誘導システムや制御技術、無停止コンピュータ、アルゴリズムやソフトウェア、デモリングとシミュレーション、MEMS、マルチチップモジュール技術などを得意とする。 陸海空および宇宙における自律システム、分散センサーおよび分散ネットワーク、精密誘導兵器、医用生体工学、化学・生物学的防衛、エネルギーシステムのモデ
MEMS-IGZOディスプレイ(メムス イグゾー ディスプレイ)は、シャープとクアルコムの子会社であるPixtronixによって開発され、2013年に発表された、MEMSによるシャッターを用いたディスプレイである。 MEMSで形成されたシャッターと光を通すスリット、RGBのLEDバックライトの3つ