スパッタ法とは? - 日本語辞典 Mazii

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Các từ liên quan tới スパッタ法

スパッタ

スパッタスパッタ（sputter） - 金属表面に高エネルギー粒子を当てると金属表面から原子が飛び出すこと。スパッタリングを参照。真空中にアルゴン（Ar）などのガスを低圧力で導入してグロー放電させ、プラズマを発生させて、このプラズマのターゲットへの衝突で原子を蒸発させガラス基板などに成膜する技術。

反応性スパッタ法

反応性スパッタ法（はんのうせいスパッタほう）は、スパッタリングの手法の一つ。スパッタにより薄膜を作製する際に、酸素や窒素などのガスをチャンバー内に流すことで、ターゲット構成物質に含まれる成分とガスとの生成物質を薄膜として堆積させる。ターゲットにSiを含む材料をターゲットとして、酸素を含むガスを導

中川茂樹

中川茂樹（なかがわしげき）は、日本の工学者。東京工業大学大学院工学研究科教授。研究室では、スパッタ法を用いた磁性薄膜工学および磁気記録技術に関する研究を行っている。 1983年　金沢大学工学部電気工学科卒業。 1985年　金沢大学大学院工学研究科修了。東京工業大学工学部助手。 1993年　工学博士（東京工業大学）。

法 (法学)

大きいものではなく、そのため、判例によって形成されてきた法規範を指して「判例法」と呼ぶこともある。条理物事の筋道のことである。法令に欠缺がある場合などに条理が法源とされる場合がある。その場合、条理を法源とする法の内容は、通常は判例を通じて明確化されることとなる。日本法においては、刑事の場合は、罪

法 (文法)

印欧語の「直説法」、「命令法」、「接続法」（仮定法）、「希求法」、「条件法」、「禁止法」などがこれにあたる。文法用語としての英語mood（述べ方）は、フランス語のmode（方式）の訛形であるが、他方でゲルマン語に起源を持つmood（気分）からも意味的な影響を受けている。日本語においては「行く」（意志・命令・疑問など）「行こう」（

法

ほう

※一※〔歴史的仮名遣い「はふ」〕

法

のり

〔動詞「のる（宣・告）」の連用形から。上位の者が下位の者に与えた宣告の意が原義〕

法人税法

企業利益（経済的概念）を法人税法上の所得と捉えることは、企業活動の法的安定性・予測可能性を侵す可能性もあって妥当ではない。なお、法人税法22条（各事業年度の所得の金額の計算）4項「第2項に規定する当該事業年度の収益の額及び前項各号に掲げる額は、一般に公正妥当と認められる会計処理の基準に従つて計算されるものと